熱式MFC/MFM，也就是熱式質(zhì)量流量控制器，是一種用于通過(guò)測量流體的質(zhì)量流量來(lái)控制流量的設備。在終端應用中，MFC的失準或制造缺陷會(huì )導致晶圓產(chǎn)量下降，甚至會(huì )損壞整個(gè)晶圓，因此質(zhì)量流量控制器的可靠性是許多半導體工藝的基礎。
一般的熱式MFC常在氣流旁路的外部纏繞加熱器與溫度傳感器（Figure 1）。當沒(méi)有氣流時(shí)，旁路的兩側氣壓相同，因此旁路中也沒(méi)有氣體流動(dòng)。這時(shí)由旁路加熱器產(chǎn)生的熱量均勻且對稱(chēng)地向周?chē)鷶U散，加熱器兩側的溫度傳感器具有相同的溫度輸出，也就是溫度測量的偏移量ΔT = 0℃。當氣體流動(dòng)時(shí)，旁路上下游的傳感器感知到溫度的偏移，通過(guò)該偏移量測算當下的流速。此時(shí)溫度與質(zhì)量流量成正比，與氣體的熱容量成反比。
由于核心傳感元件的限制，傳統MFC需要相對復雜的結構設計與制造標定流程來(lái)滿(mǎn)足測量要求，并且由于被測氣體與傳感部分無(wú)法直接接觸的原因，系統的響應速度與測量精度均會(huì )受到制約。當氣體流經(jīng)加熱表面時(shí)，氣體分子產(chǎn)生熱傳遞，與加熱表面產(chǎn)生接觸的氣體分子越多，熱傳遞現象越明顯。通過(guò)對加熱表面熱量變化的測量，即可以反應出某種氣體的質(zhì)量流量變化。這種測量方法不受氣壓與環(huán)境溫度的影響，因為它所測量的本質(zhì)是氣體分子的數量。
因而IST-AG通過(guò)特殊的薄膜工藝，將高精度加熱器，溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內，構成流量測量的核心傳感單元（Figure 2）。IST-AG傳感器的流量傳感器分為三種類(lèi)型：熱阻式（Thermo-resistive），量熱熱電式（Calorimetric thermo-electric），與量熱熱阻式（Calorimetric thermo-resistive），以響應絕大多數流量測量場(chǎng)景， 薄膜技術(shù)的應用使得IST AG流量傳感器具有無(wú)與倫比的結構與性能優(yōu)勢。
采用IST流量傳感器可以為MFC產(chǎn)品帶來(lái)足夠寬的測量范圍使得在許多場(chǎng)景中不必使用旁路，而進(jìn)行直接測量，提高測量的準確性。其次薄膜技術(shù)帶來(lái)極高的響應靈敏度，在一般測量狀態(tài)就可以瞬間響應壓力浪涌。小巧的體積與簡(jiǎn)單的安裝方式，給氣路結構優(yōu)化創(chuàng )造更大的空間。易于校準，簡(jiǎn)化生產(chǎn)過(guò)程。工采網(wǎng)提供的瑞士IST熱質(zhì)量流量傳感器–FS7是FS5流量傳感器的后續產(chǎn)品，采用對稱(chēng)的加熱器設計，具有增強的靈敏度。FS7流量傳感器適合用于氣體應用，具有出色的長(cháng)期穩定性。FS7傳感器的熱質(zhì)量小因此響應時(shí)間短。此外，標準FS7傳感器還配備罩殼，從而方便用于各種不同應用。
滬公網(wǎng)安備31010802001143號
