冷等離子體是等離子體的一種近似模型。是指它假定等離子體的溫度為零,用來(lái)討論熱效應可以忽略的物理過(guò)程。冷等離子體，有時(shí)被稱(chēng)為非熱等離子體或非平衡等離子體，是一種特殊類(lèi)型的等離子體。因為離子和電子的離子化和復合是連續發(fā)生的，等離子體發(fā)出美麗的光。因此，等離子體也被稱(chēng)為物質(zhì)的第四狀態(tài)，構成了宇宙中99%的質(zhì)量，包括恒星和閃電。下面工采網(wǎng)小編和大家一起看看在等離子體的流量控制應用方案。
等離子體工藝中會(huì )使用等離子體反應器。氣體流量、蒸汽流量和壓力在等離子體反應器中起著(zhù)重要作用。進(jìn)入反應器的氣體流量和壓力控制由流量控制器和壓力控制器調節。流量控制器控制進(jìn)入反應室的氣體流量，在反應室氣體被激發(fā)成等離子體，壓力控制器將過(guò)量氣體從反應室中排出，同時(shí)保持壓力。流量控制方法是等離子體刻蝕實(shí)驗中至關(guān)重要的一環(huán)。流量控制方法的選用取決于刻蝕過(guò)程中氣體的要求、設備的性能和實(shí)驗的目標。常用的流量控制方法有幾種。
一種常見(jiàn)的流量控制方法是使用質(zhì)量流量控制器（MFC)。MFC使用傳感器來(lái)測量氣體流量，并通過(guò)控制閥門(mén)調整氣體的流量。MFC能夠精確地控制氣體的流量，并具有較高的穩定性和可重復性。因此，在等離子體刻蝕實(shí)驗中，使用MFC可以確保所需的刻蝕氣體流量的精確控制。
另一種常用的流量控制方法是使用流量調節閥。流量調節閥通過(guò)調整閥門(mén)開(kāi)度來(lái)控制氣體的流量。與MFC相比，流量調節閥的控制精度較低，但它具有簡(jiǎn)單、易操作的特點(diǎn)，適用于一些對流量控制要求不太嚴格的實(shí)驗。
此外，還有一種流量控制方法是采用流量計和手動(dòng)調節閥結合的方式。此方法通過(guò)讀取流量計的顯示值，然后手動(dòng)調整閥門(mén)的開(kāi)度，從而實(shí)現對流量的控制。
氣體流量傳感器對流過(guò)傳感器的空氣、氧氣或其他的氣體有靈敏和快速的反應，并且在在很小的流量下有較高的準確性，同時(shí)具有在大的流量下很好的重復性和很低的滯后性。隨著(zhù)等離子行業(yè)的快速發(fā)展，熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各種等離子設備中廣泛使用，主要作用是準確的控制和調節氣體的進(jìn)氣流量，等離子設備中需要注入和填充的混合氣體，以保證更好的產(chǎn)品性能，就需要更高精度和穩定性好的流量控制器。
采用IST流量傳感器可以為MFC產(chǎn)品帶來(lái)足夠寬的測量范圍使得在許多場(chǎng)景中不必使用旁路，而進(jìn)行直接測量，提高測量的準確性。其次薄膜技術(shù)帶來(lái)極高的響應靈敏度，在一般測量狀態(tài)就可以瞬間響應壓力浪涌。小巧的體積與簡(jiǎn)單的安裝方式，給氣路結構優(yōu)化創(chuàng )造更大的空間。易于校準，簡(jiǎn)化生產(chǎn)過(guò)程。工采網(wǎng)提供的瑞士IST熱質(zhì)量流量傳感器–FS7是FS5流量傳感器的后續產(chǎn)品，采用對稱(chēng)的加熱器設計，具有增強的靈敏度。FS7流量傳感器適合用于氣體應用，具有出色的長(cháng)期穩定性。FS7傳感器的熱質(zhì)量小因此響應時(shí)間短。此外，標準FS7傳感器還配備罩殼，從而方便用于各種不同應用。
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